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Nano et Micro Technologies

1469-3399
Parution suspendue
 

 ARTICLE VOL 1/3-4 - 2001  - pp.271-286
TITRE
Vers l'intégration d'un nouveau microscope SNOM basé sur la réinjection optique dans un VCSEL

RÉSUMÉ
Si le contrôle de la réinjection optique dans les lasers conventionnels à émission par la tranche a été largement utilisé comme un moyen de mesure en détection champ lointain, les effets de la réinjection en détection champ proche sont relativement ignorés. De plus, l'utilisation de lasers à cavité verticale émettant par la surface (VCSEL) constitue une approche nouvelle visant l'intégration de systèmes de détection, utilisables en microscopie optique en champ proche (SNOM). Une étude expérimentale du phénomène de réinjection dans les cavités VCSEL est menée et un modèle de capteur SNOM, basé sur une cavité couplée associant un VCSEL à une pointe SNOM, est présenté. Les résultats préliminaires de fabrication de ce dispositif sont rapportés.


ABSTRACT
If the investigation of optical feedback influence on conventional edge-emitting lasers is a well-known problem in the far field detection regime, the use of feedback as a principle of detection for SNOM microscopy is a new topic. Other novelty is to use the VCSEL-based coupled cavity with a micromachined tip. First, we investigate the effects of external optical feedback on the threshold and spectral characteristics of VCSEL. Second, we propose a compact architecture of a SNOM sensor with a microtip integrated on top of the VCSEL and report the preliminary results of fabrication of the integrated device.


AUTEUR(S)
Christophe GORECKI, Véronique BARDINAL, Laurent AVERSENG, Frédéric VAN DIJK, Pascal DUBREUIL, Chantale FONTAINE, Antonio MUÑOZ-YAGÜE, Sabry KHALFALLAH

MOTS-CLÉS
microscopie SNOM, diodes lasers à cavité verticale, réinjection optique, pointe microusinée, réflecteurs de Bragg distribués, contrôle in situ de la croissance, diaphragme d'oxyde enterré.

KEYWORDS
SNOM microscopy, vertical cavity surface emitting lasers, optical feedback, micromachined tip, distributed Bragg reflectors, in situ control of epitaxial growth, oxide aperture.

LANGUE DE L'ARTICLE
Français

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