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Nano et Micro Technologies

1469-3399
Parution suspendue
 

 ARTICLE VOL 1/3-4 - 2001  - pp.287-304
TITRE
Lecture optique en parallèle de la résonance mécanique de microleviers en matrice pour la détection différenciée de variations de masse

RÉSUMÉ
Cet article décrit l'application d'une technique d'imagerie interférentielle utilisant une détection synchrone multipléxée à la caractérisation parallèle de la réponse dynamique de matrices de microleviers. Les techniques d'élaboration et la réponse mécanique des microleviers sont présentées et discutées. Le but poursuivi est la détection de variations de masse inférieures au picogramme par la mesure différenciée des variations de fréquences de résonance entre des microleviers ayant subi un dépôt spécifique et des microleviers témoins. Les domaines d'applications d'intérêt vont des « puces à ADN » aux capteurs de polluants.


ABSTRACT
This paper reports on a new approach for the parallel reading of the dynamical response of microcantilever arrays with an interferential imaging method coupled to a multichannel lock-in detection. The fabrication processes and the mechanical response of the cantilevers are described and discussed. The goal is the detection of mass changes lower than a picogram through the differentiated measurement of resonance frequencies changes between loaded cantilevers and reference cantilevers. The fields of application extend from DNA microchips to environmental sensors.


AUTEUR(S)
Jean-Paul ROGER, Matthieu GUIRARDEL, Albert Claude BOCCARA, Marie-Claude POTIER, Christian BERGAUD

MOTS-CLÉS
imagerie synchrone, interférométrie Nomarski, capteurs micromécaniques, matrices de capteurs, biocapteurs.

KEYWORDS
lock-in imaging, Nomarski interferometry, micromechanical sensors, sensor arrays, biosensors.

LANGUE DE L'ARTICLE
Français

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