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Nano et Micro Technologies

1469-3399
Parution suspendue
 

 ARTICLE VOL 1/3-4 - 2001  - pp.333-351
TITRE
Quelques méthodes de nano-usinage 3D. Application à la réalisation de nanocollecteurs pour la microscopie en champ proche optique

RÉSUMÉ
Pour certains, les nanotechnologies font référence aux technologies du nanomètre, pour d autres, aux technologies de l ultime, c est-à-dire de l atome. Les travaux récents concernant la manipulation d atomes aux moyens de microscopes à sonde locale tels que le Microscope à Effet Tunnel Electronique (STM) ou le Microscope à Force Atomique (AFM) ont accrédité l idée que le premier domaine d application des nanotechnologies serait cette nouvelle forme de physicochimie, dans laquelle la réaction naturelle entre les éléments de la matière serait remplacée par une manipulation parfaitement contrôlée de manière locale. Si ce concept et toutes ses innombrables conséquences sont prometteuses, l usage de la nanotechnologie comme moyen d augmenter la précision d usinage de pièces de dimensions micrométriques est tout aussi prometteur et intéresse au premier plan les microtechniciens des microsystèmes. Dans cet article, nous décrirons plusieurs exemples de nano-usinage basés sur des technologies allant de l attaque chimique classique à l usinage ionique. Nous l illustrerons au moyen d exemples empruntés à la microscopie optique en champ proche.

ABSTRACT
For some nanotechnology often refers to nanometer technology, for others it refers to technologies of the atom. Recent works dealing with atom manipulation by means of local probe microscopes accredited the idea that the first field of application could be that new kind of physical chemistry in which the natural reaction between matter elements could be replaced by a perfectly mastered handling. Although such a concept is very promising, the use of nanotechnology for improving accuracy in micrometer size components is also valuable for microtechnicians in microsystem domain. In this article, a few examples of nano-machining from chemical etching to focused ion beam technique will be described. We will illustrate our comments with examples borrowed from near field optical microscopy.

AUTEUR(S)
Claudine BAINIER, Michel SPAJER, Daniel CHARRAUT, Laurent THIÉRY, Daniel COURJON

MOTS-CLÉS
nanotechnologie, nano-usinage, FIB, microscopie optique en champ proche, sondes optiques

KEYWORDS
nanotechnology, nano-machnining, FIB, near field optical microscopy, optical collectors/ emitters

LANGUE DE L'ARTICLE
Français

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