ACCUEIL

Consignes aux
auteurs et coordonnateurs
Nos règles d'éthique
Autres revues >>

Nano et Micro Technologies

1469-3399
Parution suspendue
 

 ARTICLE VOL 1/3-4 - 2001  - pp.413-437
TITRE
Vibrométrie interférométrique continue et stroboscopique. Application à la caractérisation des modes de vibrations de dispositifs micromécaniques

RÉSUMÉ
Les méthodes usuelles de caractérisation des vibrations des dispositifs micromécaniques ne fournissent que des mesures ponctuelles ou moyennes. Un balayage de l échantillon, du faisceau ou du système de mesure est alors nécessaire pour obtenir une cartographie des vibrations. Nous proposons ici 3 méthodes qui permettent une visualisation ou une mesure 3D plein champ quantitative et rapide des vibrations avec une résolution spatiale micronique. Ces 3 méthodes reposent sur l utilisation d un microscope optique interférométrique équipé d une table de translation verticale piezoélectrique de l échantillon, d une caméra CCD et de différentes sources lumineuses. La première exploite la variation de contraste avec l amplitude de vibration des interférogrammes en lumière monochrome moyennés dans le temps par la caméra CCD. La seconde repose sur l analyse par transformée de Fourier en temps quasi réel (quelques images/s) d interférogrammes quasimonochromes enregistrés en mode stroboscopique. La dernière, moins rapide mais plus polyvalente, est une méthode stroboscopique en lumière blanche. Les performances de ces différentes méthodes pour caractériser les modes de vibration sont illustrées à partir de mesures sur des membranes, des micropoutres et des microponts réalisés dans différents matériaux.

ABSTRACT
The commonly used characterization techniques for the vibration of micromechanical devices provide only point by point or average measurements. Scanning the sample by moving the optical beam or the measurement system is then necessary to obtain a mapping of the vibration amplitude. We propose here 3 methods which allow vizualisation or full-field 3D quantitative and fast measurements of the vibration with a spatial resolution in the micrometer range. These 3 methods are based on the use of an optical interference microscope equipped with a piezoelectric translation table, a CCD camera and different light sources. The first one uses the change of contrast in the monochromatic time-averaged interferograms as a function of the vibration amplitude. The second one is based on a Fourier analysis in quasi-real time (1-5 images/s) of quasi monochromatic interferograms recorded in stroboscopic mode. The last one, slower but more versatile, is a stroboscopic method with white light illumination. The performance of these different methods for the characterization of vibration modes are illustrated with measurements on membranes, cantilever microbeams and microbridges fabricated in various materials.

AUTEUR(S)
Réda YAHIAOUI, Sylvain PETITGRAND, Alain BOSSEBOEUF, Kamran DANAIE

MOTS-CLÉS
vibrométrie, interférométrie, stroboscopie, modes de vibration, propriétés mécaniques.

KEYWORDS
vibration analysis, interferometry, stroboscopy, vibration modes, mechanical properties.

LANGUE DE L'ARTICLE
Français

 PRIX
• Abonné (hors accès direct) : 34.95 €
• Non abonné : 34.95 €
|
|
--> Tous les articles sont dans un format PDF protégé par tatouage 
   
ACCÉDER A L'ARTICLE COMPLET  (4,24 Mo)



Mot de passe oublié ?

ABONNEZ-VOUS !

CONTACTS
Comité de
rédaction
Conditions
générales de vente

 English version >> 
Lavoisier