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Nano et Micro Technologies

1469-3399
Parution suspendue
 

 ARTICLE VOL 2/1-2 - 2002  - pp.35-50
TITLE
Surface Micro-Machining, an Overview

ABSTRACT

This article presents a general overview of the surface micro-machining, a key processing technology that permitted a significant development of Microsystems. The surface micromachining is an efficient process technology to realise free standing micro-patterns on the wafer surface. It will be reviewed from its very simple basic technique to now available complex multilayers technologies. Mostly polysilicon based processes are detailed, nevertheless the micromachining of alternative materials is also addressed.

AUTEUR(S)
Dominique COLLARD, Hiroyuki FUJITA, Hiroshi TOSHIYOSHI, Bernard LEGRAND, Lionel BUCHAILLOT

KEYWORDS
Surface Micromachining, Polysilicon Technology, Microsystem, Review.

LANGUE DE L'ARTICLE
Anglais

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