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Nano et Micro Technologies

1469-3399
Parution suspendue
 

 ARTICLE VOL 2/1-2 - 2002  - pp.83-124
TITLE
Electrostatic Micro-Actuators

ABSTRACT

This article proposes a tutorial on electrostatic micro-actuators. Electrostatic forces are a very efficient mean to actuate micro-mechanisms fabricated with microsystem technology. The electrostatic actuation principle is first reviewed and, numerous examples are provided sorted by topology : parallel plate actuators, comb drive structures, torsion micro-mirrors, rotating micro-motors and more complex actuated microstructures.

AUTEUR(S)
Dominique COLLARD, Hiroyuki FUJITA, Hiroshi TOSHIYOSHI, Bernard LEGRAND, Lionel BUCHAILLOT

LANGUE DE L'ARTICLE
Anglais

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