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Nano et Micro Technologies

1469-3399
Parution suspendue
 

 ARTICLE VOL 2/1-2 - 2002  - pp.289-299
TITLE
CoventorWareTM MEMS Design Methodology

ABSTRACT

This paper gives an introduction to a Top-Down design Flow for MEMS proposed by CoventorWare. The main important products are presented and their strengthens and weakness are and highlighted. Specific examples for Terminology; RF MEMS and MOEMS designs and MEMS enabled RF/wireless & Optical systems are illustrated.

AUTEUR(S)
Christian DUPILLER

KEYWORDS
MEMS Design, Design for Manufacturability, System-Level Design, Multiphysics Analysis.

LANGUE DE L'ARTICLE
Anglais

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