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Nano et Micro Technologies

1469-3399
Parution suspendue
 

couverture du numéro

Microsystem Technology: Fabrication, Test and Reliability MIGAS'02
sous la direction de BOUSSEY Jumana
 LISTE DES ARTICLES POUR LE VOL 2/1-2 - 2002
Editorial  [GRATUIT]
Jumana BOUSSEY - pp.7-8
From Microelectronics to Microtechnologies
Robert AIGNER - pp.9-34
Surface Micro-Machining, an Overview
Dominique COLLARD, Hiroyuki FUJITA, Hiroshi TOSHIYOSHI, Bernard LEGRAND, Lionel BUCHAILLOT - pp.35-50
Bulk Micro-Machining and MEMS Packaging
Masayoshi ESASHI - pp.51-82
Electrostatic Micro-Actuators
Dominique COLLARD, Hiroyuki FUJITA, Hiroshi TOSHIYOSHI, Bernard LEGRAND, Lionel BUCHAILLOT - pp.83-124
The LIGA Microfabrication Technique
Wolfgang MENZ, Jürgen MOHR - pp.125-154
A Review of Wafer Bonding
stefan BENGTSSON - pp.155-180
Single-Crystal Silicon Micro-Opto-Electro-Mechanical Devices
tarik BOUROUINA, Philippe HÉLIN, Olivier FRANÇAIS - pp.181-202
Permanent Magnets for MAGMAS
Orphée CUGAT - pp.203-220
RF MEMS for Mobile Communications Era. Present and Future
Adrian M IONESCU - pp.221-248
From Microelectronics to Integrated Microsystems Testing
Salvador MIR, Benoît CHARLOT - pp.249-270
Reliability and Failure Analysis issues in MEMS
Ingrid DE WOLF - pp.271-288
CoventorWareTM MEMS Design Methodology
Christian DUPILLER - pp.289-299
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